低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子攻击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后引发复杂物理、化学反应，使得复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或是使有毒有害物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物降解去除。
其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。
蜂窝低温等离子体技术优势
1. 清洁能源，无二次污染，处理量大、操作简单的环保新技术来处理有毒以及难降解物质
2. 脱臭效率高，能有效的去除挥发性有机物、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味
3. 只需要设置相应的排风管道和排风动力，无需添加任何物质
4. 可24小时连续工作，运行稳定
5. 无需专人管理维护，只需做定期检查
6. 采用不锈钢材质，防腐蚀性高。